Applications dans les procédés de semi-conducteurs
L’acide glycolique de grade semi-conducteur élimine les résidus nocifs pour l’environnement et le produit de préparation de surface conçu pour les applications nécessitant des niveaux minimaux d’impuretés métalliques.
Glyclean eGA est un assemblage par blocs attrayant qui a le potentiel d’activer les formules dans de nombreux domaines de la fabrication de semi-conducteurs, ce qui inclut :
Nettoyage et préparation des surfaces
- Nettoyants FEOL et BEOL
- Nettoyants/Produits de nettoyage pour résidus de remorsure
- Nettoyants de résidus de résine photosensible
- Formules de boues de planarisation chimico-mécanique (CMP)
- Nettoyants post CMP
Caractéristiques et avantages
Les taux de corrosion faibles, l’excellente chélation d’ions métalliques ainsi que le profil d’ajustement de pH efficace font de Glyclean™ eGA un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. L’acide a une faible toxicité et une faible volatilité, assurant une manipulation facile et en toute sécurité.
