Aplicaciones de procesamiento de semiconductores
Este ácido glicólico de grado semiconductor es un removedor de residuos respetuoso con el medioambiente y un producto de preparación de superficie diseñado para su uso en aplicaciones que requieren bajos niveles de impurezas metálicas.
Glyclean eGA es un bloque de construcción atractivo con potencial para permitir formulaciones en muchas áreas de la fabricación de semiconductores, que incluyen:
Limpieza de láminas y preparación de superficie
- Limpiadores frontales (front-end-of-line, FEOL por sus siglas en inglés) y traseros (back-end-of-line, BEOL por sus siglas en inglés)
- Removedores/limpiadores de residuos de post-grabado
- Removedores/limpiadores de post-fotoresistencia
- Formulaciones en suspensión de planarización química mecánica (Chemical Mechanical Planarization, CMP por sus siglas en inglés)
- Limpiadores post-CMP
Características y beneficios
Las bajas tasas de corrosión, la excelente quelación de iones metálicos y un eficiente perfil de ajuste del pH hacen de Glyclean™ eGa una excelente opción para la fabricación de semiconductores. Este ácido tiene una toxicidad y volatilidad baja para seguridad, manejo y facilidad de uso.
