Glyclean™ eGA

Aplicaciones de procesamiento de semiconductores

Este ácido glicólico de grado semiconductor es un removedor de residuos respetuoso con el medioambiente y un producto de preparación de superficie diseñado para su uso en aplicaciones que requieren bajos niveles de impurezas metálicas.

eGA Glyclean™ es un bloque de construcción atractivo con potencial para permitir formulaciones en muchas áreas de la fabricación de semiconductores, que incluyen:

Limpieza de láminas y preparación de superficie

  • Limpiadores frontales (front-end-of-line, FEOL por sus siglas en inglés) y traseros (back-end-of-line, BEOL por sus siglas en inglés)
  • Removedores/limpiadores de residuos de post-grabado
  • Removedores/limpiadores de post-fotoresistencia
  • Formulaciones en suspensión de planarización química mecánica (Chemical Mechanical Planarization, CMP por sus siglas en inglés)
  • Limpiadores post-CMP

Características y beneficios

Las bajas tasas de corrosión, la excelente quelación de iones metálicos y un eficiente perfil de ajuste del pH hacen de eGa Glyclean™ una excelente opción para la fabricación de semiconductores. Este ácido tiene una toxicidad baja y volatilidad para seguridad, manejo y facilidad de uso.